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熱質量流量計與質量流量控制器的優點

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熱質量流量計與質量流量控制器的優點

發布日期:2022-02-16 作者: 點擊:

  在很多研究和生產過程中,重要的變量是質量而不是體積。體積流量的測量不如質量流量測量可靠,因為溫度或壓力的變化會對固定體積的氣體密度產生影響。

  與吹掃表(可變面積表)或渦輪表等體積流量測量設備不同,熱質量流量計(MFM)和質量流量控制器(MFC)相對不受輸入流量的溫度和壓力波動的影響。與大多數其他測量體積流量并需要對溫度和壓力進行單獨測量以計算密度以及Z終計算質量流量的方法相反,質量流量計/控制器能夠直接測量質量流量。

  質量流量計和控制器是為半導體行業開發的,現在已廣泛用于研究實驗室,中試工廠和連續過程中。

  質量流量計和質量流量控制器實際上是在分子水平上測量和控制流量,因此能夠向過程中提供非常準確,可重復和可靠的氣體輸送。

  熱質量流量計和質量流量控制器的優點是:流量精度低,可重復性低,對入口流量溫度和壓力波動的相對抗擾性以及緊湊型包裝中完整的PID控制回路,有助于提高生產率并降低各種成本。分析,工業過程和OEM應用。

本文網址:http://www.jkkjw.com/news/493.html

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